# | Class | status | |
---|---|---|---|
1 |
S:78812858
M:SSDS O:Advanced Technology Materials, Inc., SemEquip, Inc. |
1, 6 | Dead |
2 |
S:78743639
M:CLUSTERPHOSPHOROUS O:SemEquip, Inc. |
1 | Dead |
3 |
S:78743653
M:CLUSTERPHOS O:SemEquip, Inc. |
1 | Dead |
4 |
S:78743667
M:CLUSTERARSENIC O:SemEquip, Inc. |
1 | Dead |
5 |
S:78743682
M:CLUSTERCARBON O:SemEquip, Inc. |
1 | Dead |
6 |
S:78453528
M:CLUSTERBORON O:SemEquip, Inc. |
1 | Dead |
7 |
S:76524845
M:CLUSTERION O:SemEquip, Inc. |
9 | Dead |
8 |
S:76523252
M:SEMEQUIP O:SemEquip, Inc. |
42 | Registered |
9 |
S:76092401
M:CLUSTER BEAM ION IMPLANTER O:Semequip, Inc. |
7 | Dead |
10 |
S:76093515
M:CLUSTER BEAM ION SOURCE O:Semequip, Inc |
7 | Dead |
11 |
S:76084207
M:DECABORANE ION SOURCE O:Semequip, Inc. |
7 | Dead |